尺寸变更作业的概要

“尺寸变更”是指配合装置所处理的8英寸或12英寸晶片尺寸，更换各部位的零部件和辅材，或者变更装置设定。

尺寸变更的所需作业如下表所示。

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3章尺寸变更

本节针对晶片盒的尺寸变更进行说明。

处理8英寸晶片时，需要在装片装置（选项）上安装安全盒罩盖。运行时将8英寸晶片盒设置在安全盒罩盖中。

处理12英寸晶片时，如果设有安全盒罩盖，则需要拆除。

■安装安全盒罩盖

处理8英寸晶片时，对准装片装置的运动销，安装安全盒罩盖。

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3章尺寸变更

3-3.机械手手指的尺寸变更（选项）

机械手手指分为特定晶片尺寸专用、8英寸和12英寸晶片兼用。各种机械手手指可处理的晶片尺寸请参阅“1-2-2.机械手装置”

需要根据晶片尺寸更换机械手手指时，使用便携式操作面板进行以下的更换作业。

便携式操作面板的连接方法和操作方法请参阅便携式操作面板手册。

■尺寸变更方法

1.将维护模式设为有效。

维护模式的设定方法请参阅数据维护手册。

2.按下维护画面的［便携式］键。

显示“等待便携式操作面板连接”的画面。

3.连接便携式操作面板。

3-1.打开检查台装置门。

3-2.将便携式操作面板的连接器插入便携式操作面板连接口。

3-3.将便携式操作面板连接钥匙旋转到“ON”位置，并对连接器上锁。

画面下侧会显示“便携式操作面板操作中！”，形成可通过便携式操作面板运行装置的状态。

便携式面板

连接钥匙

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3章尺寸变更

4.在便携式操作面板的主画面上按下［SizeConv.］键。

显示便携式操作面板的尺寸变更画面。

5.按下尺寸变更画面的［Robot］键。

显示确认装片装置上没有晶片盒的画面。

6.确认没有晶片盒后，按下［Robot］键。

显示“打开装片装置的门”的画面。

7.调整拿便携式操作面板的姿势，使安全开关处于被轻轻按下的状态。

如果未将安全开关按到指定位置，则无法启动装片装置和机械手。

重要

安全开关为三段式，松开开关或者使劲按住开关时，机械手等装置的动作会瞬间停止。

只有将开关按到指定位置时，才可启动机械手等。

8.打开装片装置的挡板时要按下[OK]键。

挡板打开，显示“将机械手移动到更换位置”的画面。

松开安全开关或者使劲按住开关后，装置动作停止时，在便携式操作面板上会显示“开关已经关闭”的画面。

此时请在将安全开关按到指定位置的状态下，按下画面的[OK]键后继续进行操作。

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3章尺寸变更

9.将机械手手指移动到晶片盒设置位置时要按下[OK]键。

在机械手手指移动到晶片盒设置位置并更换机械手手指后，会显示提示按下[OK]键的画面。

10.拆除机械手手指。

10-1.使用六角扳手拆下机械手手指固定罩盖的固定螺钉（带六角孔的螺栓、4处）后，拆除罩盖。

拆除罩盖时，请用手扶住，以防机械手手指掉落。

10-2.拆除机械手手指。

机械手手指固定螺钉

（4处）

机械手手指固定罩盖

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3章尺寸变更

11.安装所使用的机械手手指。

11-1.将机械手手指的吸附面朝上，放置在安装位置。

11-2.将机械手手指顶在安装位置的里侧和右侧。

11-3.将机械手手指固定罩盖放置在机械手手指上方，拧紧固定螺钉后将罩盖固定。

12.更换结束后按下便携式操作面板的[OK]键。

显示“可确认机械手的吸附动作”的画面。

13.确认吸附动作时，测试机械手手指是否正常吸附晶片。不确认时，进行下面的步骤14.。

13-1.在机械手手指上方装载晶片。

13-2.点击画面的［吸附ON］键。

13-3.确认“吸附传感器”栏中显示“ON”。

13-4.点击[吸附OFF]键。

13-5.点击[真空破坏]键。

13-6.取出晶片。

14.吸附动作的确认结束后按下[OK]键。

显示确认机械手上没有晶片的画面。

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3章尺寸变更

15.如果有晶片则取出后按下[OK]键，如果没有晶片则直接按下[OK]键。

取出晶片时，与步骤13.进行相同的操作。显示“关闭装片装置的门”的画面。

机械手手指上没有晶片却在“吸附传感器”栏中显示“ON”或发生“有晶片”错误时，则有可能是机械手手指安装反了。请确认机械手手指的状态，如果安装反了则请重新安装。

16.关闭装片装置的门时要按下[OK]键。

装片装置的挡板关闭，并返回尺寸更换画面。

17.拆下便携式操作面板。

17-1.打开检查台装置门。

17-2.将便携式操作面板连接钥匙旋转到“OFF”位置，并对连接器解锁。

17-3.将便携式操作面板的连接器从便携式操作面板连接口上拆下。

在装置主机的接触面板上显示“等待便携式操作面板连接”的画面。

18.按下［返回］键。

显示维护画面。

注意

请将便携式操作面板连接钥匙旋转到“OFF”位置后，再拆下便携式操作面板的连接器。在便携式操作面板连接钥匙位于“ON”位置的状态下拆除连接器，会启动紧急停止功能，切断本装置的电源。