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据北京亦庄官方动静，位于北京经开区的北京京仪主动化妆备本领有限公司（如下简称“京仪配备”），胜利研发放洋内首台晶圆主动翻转倒片机，破译了国产晶圆主动翻转倒片机主动化困难。晶圆主动翻转倒片机是一项难度极高的工艺，使劲过猛简单致使晶圆表面破坏，力度过小晶圆则会主动零落，加之晶圆表面的高精细性，倒片机只可夹住晶圆的双方举办主动翻转，这就给主动翻转倒片机的研发带来了困难。据相识，晶圆倒片机是用来调度集成电路产线上晶圆临盆材料序列地方的一款设立，它的职责是将产线上的晶光滑过制程须要举办分批、归并、翻转后举办下一路程序，这就请求晶圆倒片机占有极高的传递效率和纯洁水平。当前，京仪配备研发的首台晶圆主动翻转倒片机曾经在上海集成电路研发核心获得胜利运用。初期型号倒片机则曾经在中芯国际、长江保存等多家企业获得运用。